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OTF-1200X-5S是一款CE認證的小型開啓式管式爐,其Z高工作溫度可以達到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設備配有一對不鏽鋼密封法蘭,可在真空或氣氛保護環境下對樣品進行熱處理。對于控溫系統,可設置30段升降溫程序,控溫精度爲+/- 1℃。此款管式爐Z多可對4英寸的晶片進行退火。
KSL-1100X-S-H是一款通過CE認證的小型混合管式/箱式爐,其爐膛尺寸爲100x100x100mm,做爲單純的箱式爐可對樣品在空氣環境下進行熱處理。此款設備配有石英爐管和不鏽鋼密封法蘭,可對樣品在真空或氣氛保護環境下進行熱處理。設備Z高溫度可達1100℃,而(ér)且功率僅僅爲500-700W。另外設備體積較小,可放入到手套箱裏操作。
KSL-1200X-H是一款設計的混合管式/箱式爐,此款高溫爐配有2個爐管(帶有真空密封法蘭)和一個7.2L的箱式腔體。此款高溫爐可在同(tóng)一時間對不同(tóng)樣品在空氣下燒結,也可對部分樣品在真空或氣氛保護環境下熱處理。